P01800 - SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力 Revision:SEMI P18-92 (Reapproved 1104) - Superseded optically smooth

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Description

optically smooth

本スタンダードでは，ウェーハ露光装置の自動レシピ作成におけるフレーム情報について詳述する。本スタンダードでは，設計，マスク製作，ウェーハ製造プロセスの作業フローにおける通信インタフェースに焦点を当てる。

SEMI MF728-81 (Reapproved 2003) (first SEMI publication)

including leadframes

SEMI C43 — Specification for Sodium Hydroxide

P01800 - SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力 Revision:SEMI P18-92 (Reapproved 1104) - Superseded optically smoothNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Referenced SEMI Standards (purchase separately) None.

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